gx1000n 干式泵 200-230 v 50/60 hz，pn：a54781958 gx1000n 干式泵 380-460 v 50/60 hz，pn：a54781959 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 pvd 制程 pvd 预清洁 rta 剥离/灰化 氧化物腐蚀 金属腐蚀 植入源 功能和优势： 低运行成本 与 il/ih 干泵相比，设施成本多可降低 50% 无需预防性维护 灵活的安装选项 小巧轻便，便于安装 工具上、近程或远程 可以改进工具吞吐量 可用的快的负载锁定泵之一 全程一致的泵送性能 在 50 和 60 hz 下抽速相同 降低了环境噪音 仅 55 db(a) 峰值速度范围宽 100、300、600 和 800 m3h-1绩效 峰值速度: 800 m3h-1 471 ft3min-1 13333 lmin-1 极限压力: 1 x 10-3 mbar 7.5 x 10-4 torr 0.10 pa 700 torr 排气压力下的极限 功率: 1.6 kw auc（有源设备控制器）: 1.05 kw 水* 水入口: 2 slm : 4 或 14 slm ** 安装详细信息: 占地面积（不包括排气装置）: 0.20 m2 重量: 230 kg 进气口连接: iso 100 出气口连接: nw25 极限噪音: <55 db(a)