edwards ixh 系列干泵产品是 edwards 的市场优秀 ih 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 可满足 fpd、太阳能、 半导体和 led 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有大可靠性。 edwards ixh 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。 应用 半导体的目标应用包括： pecvd 高 k 低 k sacvd lpcvd ald epi fpd 的目标应用包括： pecvd tco 刻蚀 传输腔 主要特性和优势 针对的 epi 和太阳能制程大幅提高了气抽取速度。 大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。 占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。 符合主要的国际标准，包括 ul、ce 和 s2。可以始终如一地使用或省略不用。