igx600m 干式泵 200-230v 50/60 hz，pn：a54632958 igx600m 干式泵 380-460v 50/60 hz，pn：a54632959 应用 负载锁 输送 计量 平版印刷 pvd 制程 pvd 预清洁 rta 剥离/灰化 氧化物腐蚀 硅腐蚀 金属腐蚀 植入源 功能和优势： 低运行成本 与 il/ih 干泵相比，设施成本多可降低 50% 无需预防性维护 灵活的安装选项 小巧轻便，便于安装 工具上、近程或远程 可以改进工具吞吐量 可用的快的负载锁定泵之一 全程一致的泵送性能 在 50 和 60 hz 下抽速相同 降低了环境噪音 仅 55 db(a) 峰值速度范围宽 100、300、600 和 800 m3h-1 峰值速度： 620 m3h-1 365 cfm 10333 l min-1 极限压力： 7.00e-04 mbar 5.25e-04 torr 0.07 pa 700 torr 排气压力下的极限 极限： 1.6 kw auc（有源设备控制器）： 0.05 kw 水入口*： 2 slm 氮： 4 或 14 slm 占地面积（不包括排气装置）： 0.20 m2 重量： 220 kg 进气口连接： iso100 出口连接： nw25 极限噪音： < 55 db(a)