分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。尤其是脂润滑分子泵,作为超高真空领域的真空获取设备
,因其启动块、能耗低、运转寿命长、可靠性高、可获得完全无油的清洁真空等特点,近年在真空技术应用领域逐渐普及。
技术参数
ff-250/1600
抽气速率(1/s):1600
压缩比:n2:108;h2:5×105
极限压强(pa):≤1×106
额定转速(rpm):27000
轴承:陶瓷轴承(耐腐蚀泵需通保护气体)
排气口法兰:kf40 (dn40 iso-kf)
进气口法兰:lf250(dn250 iso-k)
振动值((μm)):: ≤0.1
冷却水温度(℃):≤25
泵体烘烤温度:≤100
环境温度(℃):5-40
充油量(ml):150
安装方式:竖直±50
重量(kg):47
分子泵与扩散泵及其他超高真空泵相比有以下特点:
极限压力低,的泵能获得10-8pa的极限压力;
工作压力范围广,在九个数量级的范围内有稳定抽速;
结构紧凑,由置于泵体内的中频电机直接驱动转子转动;
体积小,抽速大,获得的高真空系统清洁无油;
工作震动小,噪音低,工作平稳,启动时间短,效率高;
耗能少,节省能源,是一种省电配置。
kyky系列分子泵应用领域很广,主要应用在太阳能光伏、low-e玻璃、半导体制造、真空检漏、真空镀膜、制灯、光盘、分析仪器等诸多行业。
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